納米位移臺(tái)的工作原理
納米位移臺(tái)主要采用運(yùn)動(dòng)控制技術(shù),由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。
內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng),其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng);通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大;經(jīng)電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng),再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制;在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí),可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。
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]]>一個(gè)火柴盒大小、外殼包覆金屬的小方塊,通過電壓控制能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的位移,可以用于對(duì)精度要求高的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、制造和半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域。日前,在松山湖材料實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室內(nèi),團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人許智展示了該團(tuán)隊(duì)擁有核心技術(shù)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)。
隨著微電子、納米科技和人工智能等領(lǐng)域的進(jìn)一步發(fā)展,定位不僅在實(shí)驗(yàn)室用途廣泛,工業(yè)界的應(yīng)用也越來越多。
“這是我們的主要產(chǎn)品之一,過去常規(guī)的驅(qū)動(dòng)定位是利用電機(jī)控制,但我們采用的是稱為壓電陶瓷的材料,給電之后產(chǎn)生微小形變,利用這微米級(jí)的微小形變讓臺(tái)子發(fā)生位移。”許智介紹道,該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)一方面位移范圍大,另一方面定位精度可以達(dá)到零點(diǎn)幾個(gè)納米,與普通微米級(jí)別定位精度相差近萬倍。
與材料實(shí)驗(yàn)室其他主攻材料研究的創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)不同,科研設(shè)備產(chǎn)業(yè)化團(tuán)隊(duì)的創(chuàng)業(yè)方向則在于“設(shè)備”。在該團(tuán)隊(duì)的實(shí)驗(yàn)室內(nèi),小到一手可握的小零件,大到一人高的“大家伙”,各種不同設(shè)備都陳列其間,仿佛一間小型加工廠。
“如果說其他團(tuán)隊(duì)研究的是如何炒菜,那我們的研究就是怎么做一口鍋?!?/strong>許智解釋道,當(dāng)下國內(nèi)在科研儀器的研制方面相對(duì)落后,很多設(shè)備都需要進(jìn)口。然而,儀器設(shè)備對(duì)科研的重要性不亞于“一口好鍋”。
在他看來,儀器是科研的重要基礎(chǔ),特別是對(duì)物理學(xué)家來說,科研的創(chuàng)新是從儀器創(chuàng)新開始的,有好的儀器才能做出好的結(jié)果,初走上“硬件研究”這條道路,與他的學(xué)習(xí)經(jīng)歷密切相關(guān)。
“過去做納米材料研究,先用顯微鏡觀察材料的原子結(jié)構(gòu),把這個(gè)材料放到另外的設(shè)備上測(cè)量材料性質(zhì),這是非原位的研究?!痹S智回憶道,2000年左右他還是一名研究生,導(dǎo)師提出了在觀察原子結(jié)構(gòu)的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量的構(gòu)想,從而把材料結(jié)構(gòu)和性能完全關(guān)聯(lián)起來。
立項(xiàng)之后,他就跟著導(dǎo)師開始相關(guān)工作,開發(fā)出了當(dāng)時(shí)世界上的首臺(tái)原子級(jí)別的觀察與測(cè)量聯(lián)用的系統(tǒng)。這成為了許智“硬件創(chuàng)業(yè)”的一個(gè)起點(diǎn)。
松山湖材料實(shí)驗(yàn)室成立之后,許智全職來到了松山湖,開始專門研究起科研設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化。“材料實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)立創(chuàng)新樣板工廠,專注于科研成果轉(zhuǎn)化。我們就意識(shí)到在實(shí)驗(yàn)室的這些技術(shù),不光可以自己用,還應(yīng)該把它產(chǎn)業(yè)化,推廣給國內(nèi)外其他研究單位來用,提升國內(nèi)整體的儀器水平和科研水平?!?/strong>
具體到當(dāng)下的工作,該團(tuán)隊(duì)主要聚焦材料生長、材料表征和材料檢測(cè)三個(gè)方面。“我們的材料生長設(shè)備,生長的材料質(zhì)量比別人家都好,這是我們核心競(jìng)爭(zhēng)力,也是在實(shí)驗(yàn)室多年積累的結(jié)果?!痹S智介紹,材料表征則屬于觀測(cè)范疇,通過掃描探針顯微鏡等設(shè)備,可以把材料表面原子結(jié)構(gòu)展現(xiàn)出來。此外利用該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的設(shè)備,還可以進(jìn)行原子層級(jí)的測(cè)量,研究材料不同條件下的性能特征。
目前,在創(chuàng)新樣板工廠,該團(tuán)隊(duì)致力于推動(dòng)從實(shí)驗(yàn)室樣機(jī)到成熟產(chǎn)品的轉(zhuǎn)變,提升產(chǎn)品的穩(wěn)定性、易用性和質(zhì)量的一致性,讓產(chǎn)品逐步走向市場(chǎng)。
不過,科研儀器市場(chǎng)不同于普通消費(fèi)市場(chǎng),具有自身特點(diǎn)。“比如手機(jī)公司一年可以賣幾千萬臺(tái),但我面向研究單位賣儀器就不會(huì)賣到那么多?!痹S智表示,科研設(shè)備行業(yè)的突出特點(diǎn)是技術(shù)門檻高、產(chǎn)品附加值高,同時(shí)固定資產(chǎn)投入相對(duì)較低,不需要建設(shè)大規(guī)模生產(chǎn)線,一個(gè)團(tuán)隊(duì)20個(gè)人就能完成很多事情。
實(shí)際上,技術(shù)往往存在很大的溢出效應(yīng),研制科研設(shè)備所得的技術(shù)在其他領(lǐng)域也有意想不到的功用。在實(shí)驗(yàn)室,他向記者展示了一種特制的探針,細(xì)至僅有一個(gè)原子。“這根針可以像手一樣在這個(gè)材料表面‘摸’,用原子來‘摸’原子,操作精度得非常高。通過探測(cè)針和樣品之間微弱的電流變化,來判斷接觸狀態(tài),從而找出材料表面的原子排布?!?/strong>
得益于在微小電流等弱信號(hào)探測(cè)方面的豐富經(jīng)驗(yàn),該團(tuán)隊(duì)開始拓展更廣闊的民用市場(chǎng)。近期,該團(tuán)隊(duì)正準(zhǔn)備圍繞疫情防控中存在的核酸檢測(cè)需求,啟動(dòng)快速核酸檢測(cè)項(xiàng)目。
“為了控制疫情,在武漢、北京等地都做了大量核酸檢測(cè)。但目前采用的方法較慢,今天檢測(cè)明天才有結(jié)果,另外篩查時(shí)一次好幾百萬的檢測(cè)量,為了降低成本,有時(shí)采取混合篩查手段,可能存在漏檢的問題。”許智介紹,該團(tuán)隊(duì)即將推出的快速核酸檢測(cè)技術(shù),采用石墨烯生物傳感芯片,通過電學(xué)檢測(cè),成本低、速度快、靈敏度高,只需5分鐘就能出結(jié)果。
這些技術(shù),則都是基于該團(tuán)隊(duì)之前的技術(shù)積累。一是該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的材料生長設(shè)備能生長規(guī)?;?、均勻的石墨烯材料;二是基于該團(tuán)隊(duì)具備弱信號(hào)檢測(cè)方面的經(jīng)驗(yàn)和能力。“因?yàn)椴《镜牧糠浅I?,它所能探測(cè)到電子信號(hào)比較微弱,這恰恰和我們做原子成像的經(jīng)驗(yàn)是相通的?!?/p>
許智認(rèn)為,相關(guān)技術(shù)的突破并不僅僅用于目前的科研設(shè)備,而是通過積累逐漸形成一定的技術(shù)儲(chǔ)備,遇到新的需求就可以很快實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)移和轉(zhuǎn)化。
依托材料實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新樣板工廠,該團(tuán)隊(duì)正快速推進(jìn)產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
“松山湖處于大灣區(qū)核心地區(qū),環(huán)境也很好。材料實(shí)驗(yàn)室無論是在給予的創(chuàng)業(yè)扶持,還是在住房、待遇等生活保障等方面都很到位?!痹S智表示,東莞在加工配套和潛在客戶對(duì)接方面,都對(duì)團(tuán)隊(duì)工作開展提供了比較好的條件,目前公司剛剛擴(kuò)充了市場(chǎng)銷售方面的人員,接下來會(huì)將一部分工作重.點(diǎn)轉(zhuǎn)向市場(chǎng)拓展,力爭(zhēng)跨過從科研到市場(chǎng)之間的“死亡谷”。
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