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壓電二維納米位移臺性能優(yōu)勢

壓電二維納米位移臺 XYMF-133-lODA,為長行程納米平移臺,具有分辨率高,行程大,帶有高精度及高分辨率的位置反饋,操作簡單,定位糟準,能在真空下使用等優(yōu)點,其中XYMF-133-100A平移臺可實現(xiàn)在XY二維空間上的準確定位,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。
壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作,運動分解率達到納米級,能夠步進和自描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米臺辨率的定位,支持開環(huán)/閨環(huán)控制。
目前主要應用于電子顯微鏡原位納米探針臺、半導體芯片檢測、光纖焊接、組裝、檢測與測量、高精度激光對焦、光刻機工件臺、微生物操縱手等。

壓電二維納米位移臺

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