納米位移臺(tái)的驅(qū)動(dòng)方式
納米位移臺(tái)通常使用不同類型的驅(qū)動(dòng)方式來實(shí)現(xiàn)微小的位移調(diào)整,包括:
壓電驅(qū)動(dòng):利用壓電陶瓷材料的壓電效應(yīng),在外加電場(chǎng)的作用下產(chǎn)生位移。
電磁驅(qū)動(dòng):利用電磁感應(yīng)原理,通過交變電流在線圈中產(chǎn)生的磁場(chǎng)來驅(qū)動(dòng)磁性物體,從而實(shí)現(xiàn)位移調(diào)整。
聯(lián)接驅(qū)動(dòng):利用一種特殊的彈性材料——聯(lián)接,通過外加電壓或電流來實(shí)現(xiàn)微小位移調(diào)整。
熱致驅(qū)動(dòng):利用熱致效應(yīng),通過控制加熱或冷卻產(chǎn)生的熱膨脹或收縮來實(shí)現(xiàn)微小的位移調(diào)整。
摩擦驅(qū)動(dòng):利用微小的摩擦力,在位移臺(tái)表面上移動(dòng)的機(jī)械部件上施加力,從而實(shí)現(xiàn)微小的位移調(diào)整。
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